在X熒光光譜儀中，X射線管是作為X熒光光譜儀器中激發(fā)樣品的光源，X射線熒光光譜作為常規(guī)分析手段，始于20世紀(jì)50年代初，經(jīng)歷了50多年的發(fā)展，現(xiàn)已經(jīng)成為物質(zhì)組成分析的必備方法之一，而在一臺臺式X熒光光譜儀中，X射線管需要以下幾個特點：
（1）提供較大的X射線通量，因此允許采用較大的焦斑和較大的窗口。
（2）要求能連續(xù)地工作于較高的功率水平。不僅要求能在高電壓、高電流情況下工作，也能在低電壓、高電流情況下工作，且不同工作狀態(tài)的切換在1~5S內(nèi)完成，并保證穩(wěn)定。
（3）靶材純度要搞，雜質(zhì)譜線的強度應(yīng)小于總強度的1%。為減少X射線的散射和吸收，通常要求靶面拋光成鏡面。
（4）在保證X射線管使用壽命的情況下，窗用材料鈹片應(yīng)盡可能薄。研究工作表明，厚度為25μm的鈹窗X射線管對波長0.08~2nm的X射線透過率是厚度為75μm鈹窗X射線管的10~100倍，薄窗靶特別使用與長波段X射線熒光的測定。若是用于測定較重元素如金、銀和銅的低分辨率譜儀，所用X射線管管窗材料亦可是硼酸鹽玻璃（如硼酸鋰鈹玻璃）。
（5）提供X?射線的高壓和管電流的高壓電源輸出穩(wěn)定，波長色散譜儀通常應(yīng)小于0.001%，能量色散譜儀應(yīng)在0.1%~0.02%之間。
（6）為滿足多種分析要求，可配備多種靶材供選擇，但端窗靶一般選用銠為陽極材料。